01
Încărcare
Încărcați sistemul de probă în camera de acoperire.
02
Pompare în vid
La depunerea acoperirilor PVD, este necesar un vid ridicat. Sistemul de acoperire Huasheng se desfășoară în doi pași: Mai întâi, pompa mecanică reduce presiunea camerei de vid de la 1000 mbar la 10⁻¹ mbar; Apoi, pompa turbomoleculară generează un vid ridicat de aproximativ 1X10⁻⁶m bar.
03
Încălzire
Încălziți camera la aproximativ 500 ℃, care este temperatura convențională de proces.
04
Gravare cu plasmă
Sistemul de acoperire Huasheng utilizează trei tehnologii diferite de gravare: HUASHENG® (descărcare luminescentă laterală); gravare cu plasmă de argon, descărcare luminescentă; gravare cu ioni metalici (Ti+, Cr+).
05
Depunere
Depunerea de acoperire se realizează utilizând PVD (placare cu arc ionic, pulverizare magnetronică sau tehnologie HUASHENG® cu catod integrat).
06
Răcire
Răciți camera de acoperire.
07
Descărcare
Descărcați sistemul de probă din camera de acoperire.
01020304050607
01
Procesul 1
02
Procesul 2
03
Procesul 3
04
Procesul 4
05
Procesul 5
06
Procesul 6
07